日本e-yamato超高純度調(diào)壓閥絕壓型分析儀 SRQ-1LA 特點(diǎn)介紹

高鈍度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應(yīng)。

消除了滑動(dòng)部，抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜，實(shí)現(xiàn)壓力高靈敏度。

外部硅片采用奧甲基硅片。

流動(dòng)方向也可制作左側(cè)入口（左高壓）型。

適合負(fù)壓控制、低蒸氣。

可將正壓的入口壓力從真空減壓為正壓。

日本e-yamato超高純度調(diào)壓閥絕壓型分析儀 SRQ-1LA 規(guī)格參數(shù)

SRQ-1LA

一次側(cè)壓力（MPa）

0~0.99

二次倒使用壓力（MPa）

-0.1~0.4

使用溫度攝氏度）

-10~40（設(shè)計(jì)溫度:-10~7攝氏度）1/4

外部響應(yīng)量（Pam/sec）

螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接氣主本體

SUS316L

要部材質(zhì)

材算記號(hào)隔膜SUS316L

諾科脫明井材

PTFE

是P.476其他

SUS316L

過濾器粗糙度

40μm

質(zhì)量(kg)1.3

標(biāo)準(zhǔn)流量

/minNl)

15(Pl=1MPa.Pe=0.2MPa)

最大流

8/min(nor.e)

20(Pl=1MPa.P==0.2MPa)

消除了滑動(dòng)部，抑制了微粒的產(chǎn)生。采用波形隔膜，實(shí)現(xiàn)壓力高靈敏度。

外部硅片采用奧甲基硅片。