日本TANAKA日酸低壓閥壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 TANAKA日酸 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T 特點(diǎn)介紹

S-TORR調(diào)整器在半導(dǎo)體散熱氣體生產(chǎn)線中獲得極大信賴的TORR調(diào)整器

是貝一斯開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

除去接觸氣體部螺紋結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨，從而放置非常高的水分

可實(shí)現(xiàn)換特性、顆粒減少。

主體與鋼筋的連接采用焊接，模具和法蘭部的外部密封件采用金屬密封件結(jié)構(gòu)。

由于具有較高的外部密封性，即使是高純度的氣體，也可以放心使用。

在一次室的流路內(nèi)置過濾器1，減少了內(nèi)部回流的發(fā)生。

包括直線測試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

STV30Siliez作為一次低壓用的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)種，低壓配管和出口管線

廣泛使用填充壓力低的壓縮氣體的氣缸單殼體等

是的。

作為腐蝕性氣體用，在接觸氣體主要金屬部使用了高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH硅

這里準(zhǔn)備了利一斯。

日本TANAKA日酸低壓閥壓力調(diào)節(jié)器半導(dǎo)體用 TANAKA日酸 STⅤ30-3WE-30X03G-4UB4UB-T 規(guī)格參數(shù)

入口倒最高使用壓:1.5MPa

出口倒最高使用壓:0.6MPa

最大流量:85L/min（nor）（P1=0.7MPa，P2=0.6MPa.N2GAS）

使用溫度:-5~-40度

重量:1.2kg（2磅）、1.4kg（3磅）

內(nèi)置過濾器過濾過量:10微米

接觸氣體金屬部表面粗糙度:Ra0.25μm（可選:Ra0.1μm）

出入口孔口徑:1/4

外部響應(yīng)量:1.3x10-Pa.m3/sec以下