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日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥

日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10

●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

  • 產品型號:S-TORRⅤA10
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:262
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詳細介紹

日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 特點介紹


●S-TORR調節(jié)器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節(jié)器基礎上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結構,標準實施電解研磨,實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內置過濾器,減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●STVA10系列支持負壓控制,可用于負壓供給低蒸汽壓的液化氣體的氣缸箱。

●從接觸氣體部排除彈簧,降低了顆粒發(fā)生風險。

●采用串聯(lián)隔膜式。

●作為腐蝕性氣體用,準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。


日本日酸TANAKA負壓用壓力調節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤA10 規(guī)格參數(shù)


●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力計:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316LSUS31 6L/鎳鉻鉬合金(STVA10SH)SUS316L SUS316L、SUS316、氟樹脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316L氟樹脂(STVA10SH)C3604ABS樹脂、C36 04

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