美國MTI真空層壓熱壓機晶圓粘合薄膜轉(zhuǎn)換等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 特點介紹

YLJ-VHP5 是一款真空熱層壓熱壓機，專為晶圓粘合、薄膜轉(zhuǎn)換和 LCP 層壓而設(shè)計，加熱面積為 100 毫米 x 100 毫米或 300 毫米 x 300 毫米。

它的最大工作溫度為 500 oC，最大壓力為 20-40 公噸。

美國MTI真空層壓熱壓機晶圓粘合薄膜轉(zhuǎn)換等 YLJ-VHP5-4/YLJ-VHP5-12 規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品編號

YLJ-VHP5-4

YLJ-VHP5-12

YLJ-VHP-16

電壓和功率 AC 208 - 240 V，50/60 Hz

單相， 2,000 瓦 AC 208 - 240 V，50/60 Hz，

單相， 5,000 W AC 208-240 V，50/60 Hz，

單相，6,500 W

供暖設(shè)備面積 100x100 毫米（約 4x4 英寸） 300 x 300 毫米 (12x12") 400 x 400 毫米 (~16 x16")

最多可開啟兩個門板 30 毫米 40 毫米 40 毫米

腔室尺寸和容量 5 25 長 x 480 寬 x 450 高 (毫米)

~ 75 升

614 長 x 574 寬 x 514 高 (毫米)

~ 170 升

700 長 x 650 寬 x 550 高 (毫米)

~250 升

熱壓板最大壓力

500°C 時 10 公噸  

室溫時 20 公噸   500°C 時 20 公噸

室溫時 30 公噸    500°C 時 30 公噸

室溫時 40 公噸