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日本otsuka大塚非接觸式顯微分光膜厚儀

日本otsuka大塚非接觸式顯微分光膜厚儀
顯微分光膜厚儀 OPTM series 是一種高精度的膜厚測量設備，適用于各種材料和應用場景。它的特點包括：
高精度測量：能夠精確測量膜厚，適用于需要高精度控制的工藝。
非破壞性測量：無需破壞樣品即可進行測量，適用于質量控制和研發(fā)。
多功能性：適用于多種材料和膜層，包括SiO2、SiN、ITO等。
易于操作：用戶界面友好，操作簡便。

  • 產品型號：OPTM-A1
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2025-10-13
  • 訪  問  量：114
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詳細介紹

日本otsuka大塚非接觸式顯微分光膜厚儀
日本otsuka大塚非接觸式顯微分光膜厚儀

產品特點

顯微分光膜厚儀 OPTM series 是一種高精度的膜厚測量設備，適用于各種材料和應用場景。它的特點包括：
  • 高精度測量：能夠精確測量膜厚，適用于需要高精度控制的工藝。
  • 非破壞性測量：無需破壞樣品即可進行測量，適用于質量控制和研發(fā)。
  • 多功能性：適用于多種材料和膜層，包括SiO2、SiN、ITO等。
  • 易于操作：用戶界面友好，操作簡便。

技術規(guī)格

  • 測量原理：反射分光法（光干涉法）。
  • 膜厚測量范圍：根據具體型號可能有所不同，但通常覆蓋從納米到微米級別。
  • 重復精度：通常非常高，以確保測量的一致性和可靠性。
  • 測量時間：快速，通常在幾秒內完成。
  • 數據輸出：可以通過屏幕顯示或通過USB輸出到Excel等軟件進行進一步分析。

應用案例

  1. 半導體行業(yè)：
    • SiO2和SiN膜厚測定：用于半導體工藝中絕緣膜的精確測量。
    • 粗糙基板上的膜厚測量：使用界面系數來補償基板表面的粗糙度對測量的影響。
  2. FPD（平板顯示器）行業(yè)：
    • 彩色光阻膜厚測定：確保彩色濾光片薄膜的均勻性。
    • ITO構造解析：測量透明電極材料的膜厚及其傾斜變化。
  3. DLC涂層行業(yè)：
    • DLC涂層厚度測量：適用于高硬度、低摩擦系數的類金剛石涂層。



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