日本Tekhne半導(dǎo)體氣體濕度控制用在線露點(diǎn)計
日本Tekhne半導(dǎo)體氣體濕度控制用在線露點(diǎn)計

TK-100系列是采用靜電容量式（阻抗式）技術(shù)的露點(diǎn)計，用于測量露點(diǎn)或含水率

采用靜電容量式陶瓷傳感器，露點(diǎn)測量精度可達(dá)±2°C，能夠精準(zhǔn)檢測氣體中極其微量的水分含量變化

傳感器技術(shù)

• 高精度測量：采用靜電容量式陶瓷傳感器，露點(diǎn)測量精度可達(dá)±2°C，能夠精準(zhǔn)檢測氣體中極其微量的水分含量變化。
• 快速響應(yīng)：傳感器采用超薄多孔絕緣層（厚度0.5μm以下）和導(dǎo)電金屬層設(shè)計，響應(yīng)時間可達(dá)秒級，能快速捕捉氣體中水分含量的細(xì)微波動。
• 溫度補(bǔ)償：結(jié)合溫度補(bǔ)償技術(shù)，確保輸出的線性化和數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性，即使在溫度變化的環(huán)境中也能穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù)。
• 傳感器互換性：每個傳感器的特性都記錄在變送器中，傳感器具有高度的兼容性和長期可靠性，能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器的互換。

測量范圍

• 寬量程覆蓋：露點(diǎn)測量范圍為-100°C至+20°C，能夠滿足半導(dǎo)體制造等對極低濕度環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測的場合。

穩(wěn)定性與耐受性

• 高穩(wěn)定性：固態(tài)設(shè)計使其無需定期更換電解液，維護(hù)間隔可延長至1年以上，減少了設(shè)備維護(hù)工作量和停機(jī)時間。
• 耐腐蝕性：傳感器通常采用氧化鋁或陶瓷鍍膜技術(shù)，具有出色的耐腐蝕性，能夠在H?、HF等強(qiáng)腐蝕性工藝氣體環(huán)境中穩(wěn)定工作。
• 寬溫工作范圍：能夠在-20°C至+50°C的環(huán)境溫度下正常運(yùn)行，適應(yīng)了不同區(qū)域的溫度變化。

易于集成與應(yīng)用

• 多種安裝方式：支持直接管道安裝或旁路采樣，適配各種氣體管路和環(huán)境控制系統(tǒng)。
• 通信協(xié)議豐富：支持4-20mA模擬信號輸出、RS485數(shù)字通信以及Modbus RTU協(xié)議等，能夠輕松與PLC、SCADA系統(tǒng)以及工廠的MES實(shí)現(xiàn)無縫對接。
• 便攜性：有便攜式型號，如TK-100便攜式Y(jié)N型重量僅為2kg，使用4節(jié)AA電池可連續(xù)使用約15小時，便于攜帶和現(xiàn)場測量。