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日本micro-granite無損裸晶圓平整度測(cè)定機(jī)

日本micro-granite無損裸晶圓平整度測(cè)定機(jī)
Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過程中盡量減少任何震動(dòng),該設(shè)備在Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)上采用了高精度的氣動(dòng)軸承,這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖,確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析,Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整

  • 產(chǎn)品型號(hào):Wafecom 300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-01
  • 訪  問  量:127
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日本micro-granite無損裸晶圓平整度測(cè)定機(jī)
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Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過程中盡量減少任何震動(dòng),該設(shè)備在Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)上采用了高精度的氣動(dòng)軸承,這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖,確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析,Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過程中盡量減少任何震動(dòng),該設(shè)備在Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)上采用了高精度的氣動(dòng)軸承,這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖,確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析,Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。Waferom 300 是一種用于裸晶圓的多功能測(cè)量設(shè)備。它利用硅傳輸位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測(cè)硅晶圓的厚度。為了在測(cè)量過程中盡量減少任何震動(dòng),該設(shè)備在Y軸(前后軸)和θ軸(旋轉(zhuǎn)軸)上采用了高精度的氣動(dòng)軸承,這些軸承使用了來自印度的黑色花崗巖,確保了晶圓厚度的精確檢測(cè)。通過將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)進(jìn)行分析,Waferom 300 能夠評(píng)估諸如全局平整度、局部平整度、翹曲和邊緣滾落等幾何因素。

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