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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)

日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)
可以為每個(gè)試樣分別設(shè)置Z軸(高度)方向的研削值,精度可達(dá)1μm。
時(shí)間模式自動研磨:支持時(shí)間管理的研磨模式,可在1個(gè)工程中設(shè)置2個(gè)階段的變化。
研磨劑自動滴注:配備“研磨劑自動滴注裝置",可實(shí)現(xiàn)無人自動研磨。
Q-roy適用于需要高精度研磨的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境,特別是在材料科學(xué)、金屬加工、電子制造等領(lǐng)域,用于制備金相試樣、半導(dǎo)體材料等。

  • 產(chǎn)品型號:Q-roy
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-04
  • 訪  問  量:156
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詳細(xì)介紹

日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)
日本IMT半導(dǎo)體材料高精度研磨拋光機(jī)

主要特點(diǎn)

  • 3個(gè)試樣獨(dú)立研削值設(shè)置:可以為每個(gè)試樣分別設(shè)置Z軸(高度)方向的研削值,精度可達(dá)1μm。
  • 時(shí)間模式自動研磨:支持時(shí)間管理的研磨模式,可在1個(gè)工程中設(shè)置2個(gè)階段的變化。
  • 研磨劑自動滴注:配備“研磨劑自動滴注裝置",可實(shí)現(xiàn)無人自動研磨。
  • 研削值誤差補(bǔ)償:具備補(bǔ)償功能,可糾正由于圓板振動或布輪彈性引起的研削誤差。
  • 操作簡便:配備大按鈕的觸摸面板和方便的模擬按鈕,操作簡單。

本體規(guī)格

  • 圓板尺寸
    • 高精度研磨圓板:Φ223mm或Φ200mm
    • 高精度琢磨圓板:Φ200mm
    • 磁性表面圓板:Φ200mm
    • 可選配Φ250mm圓板,但圓板需單獨(dú)購買。
  • 研磨功能:個(gè)別荷重的研磨
  • 轉(zhuǎn)速
    • 圓盤:50-300rpm(正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)切換)
    • 夾具:50-200rpm
  • 試樣數(shù)量:Φ25mm、30mm、40mm×3個(gè)
    • 特殊尺寸夾具和特殊夾具需定制
    • 夾具需單獨(dú)購買
  • 加壓力:個(gè)別荷重:5-30N/每個(gè)試樣
  • 操作:觸摸面板+模擬按鈕+轉(zhuǎn)速旋鈕
    • 可選擇“研削值自動停止"或“時(shí)間停止"
    • 研磨水自動啟動/停止,另外配備供水按鈕
  • 研削值設(shè)置
    • 每個(gè)試樣可在5μm-5mm范圍內(nèi)設(shè)置Z軸方向的研削值
    • 最大可設(shè)置H20mm的試樣
    • 最大研削量可達(dá)5mm
    • 設(shè)置精度為1μm
  • 頭機(jī)構(gòu):頭可上下移動,上升時(shí)可手工研磨
  • 氣源:0.5-0.7MPa
    • 如果氣壓超過0.7MPa,需要另外配備調(diào)壓器
  • 電機(jī)功率
    • 頭部:60W,無刷電機(jī)
    • 底座:120W,無刷電機(jī)
  • 電源:單相100V或單相220V
  • 尺寸/重量:寬480mm×深670mm(含排水口)×高500mm(頭部升起時(shí)650mm),重量45kg

應(yīng)用場景

Q-roy適用于需要高精度研磨的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境,特別是在材料科學(xué)、金屬加工、電子制造等領(lǐng)域,用于制備金相試樣、半導(dǎo)體材料等。


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