日本SEM半導體設備安裝調試2軸數(shù)字水準儀
日本SEM半導體設備安裝調試2軸數(shù)字水準儀

1. 高精度數(shù)字水準儀，適用于設備安裝、水平調校、長期傾斜監(jiān)測等場合。
2. 主要技術指標
• 分辨率：0.001 mm/m
• 測量范圍：±20 mm/m
• 重復精度：≤ ±0.003 mm/m（±3 µm/m）
• 溫漂：≤ 0.01 mm/m / 10 ℃
• 防護等級：IP65（防塵、防噴射水）
• 輸出方式：RS-232C 串口（標配）
• 供電：DC 5 V（附帶 100-240 V AC 適配器）
• 工作溫度：0 – 50 ℃
• 外殼：陽極氧化鋁，底部帶 3 個 M6 安裝螺孔
• 尺寸：≈ 150 × 50 × 37 mm
• 重量：≈ 550 g
3. 功能亮點
• 實時數(shù)字顯示，讀數(shù)直觀，可切換 mm/m、arc-sec、μrad 單位。
• 連續(xù)輸出模式：最高 10 Hz，可直接接入 PC、PLC 或數(shù)據(jù)采集器。
• 零點任意設定：一鍵置零，方便相對測量。
• 保持/峰值保持：便于在狹窄空間先測量、后觀察。
• 低功耗：＜ 0.3 W，可改用移動電源長時間野外作業(yè)。
4. 典型應用
• 加工中心、龍門銑、三坐標、光刻機等精密機床的水平驗收與補償。
• 半導體、液晶、光伏產線設備的安裝、調試、定期復校。
• 計量室、實驗室平臺、花崗巖平板的平面度/水平度監(jiān)測。
• 橋梁、軌道、大型天線等結構物的長期傾斜在線監(jiān)測。