日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統(tǒng)
日本technomu玻璃基板非接觸平面度測量系統(tǒng)

• 低價實現(xiàn)高精度測量
• 高速數(shù)據(jù)采集
• 非接觸，不會劃傷被測物
• 受工件材質(zhì)影響極小
• 可測量重型工件
• 底座采用花崗巖，旋轉(zhuǎn)軸采用空氣靜壓主軸，實現(xiàn)驚人的面振精度
• 圖示機型可承載最大 φ800 mm、200 kg 的工件
• 可根據(jù)工件定制測量臺（歡迎咨詢）

• 測量范圍：2 英寸 – 12 英寸以上
• 測量方式：旋轉(zhuǎn)掃描式
• 可用激光類型：三角測距、共焦、光譜干涉、多激光同軸
• 分辨率：最高 0.001 µm
• 旋轉(zhuǎn)軸采用空氣靜壓主軸（エアースピンドル），面振精度高
• 花崗巖底座 + 空氣軸承轉(zhuǎn)臺，長期穩(wěn)定性好
• 低價實現(xiàn)高精度：分辨率最高 0.001 µm
• 非接觸激光掃描，不傷工件；透明/鏡面也可測
• 可測重型工件 – 標準機型最大 φ800 mm、200 kg（可特注更大）
• 高速數(shù)據(jù)采集，2-12 in 及以上全覆蓋
• 支持多種激光傳感器（三角測距、共焦、光譜干涉、多激光同軸）
• 可按工件形狀定制治具、轉(zhuǎn)臺、掃描方式2. 典型應(yīng)用
• 樹脂加工板、玻璃基板、陶瓷板的平面度測定
• 金屬板（不銹鋼、銅、鋁等）的平面度在線/離線檢測
• 大型模具、圓盤、法蘭等重量級工件的平面度全檢