便攜式半導(dǎo)體三氟化氮氣體泄漏檢測儀
便攜式半導(dǎo)體三氟化氮氣體泄漏檢測儀

核心特點

• 現(xiàn)場可更換：傳感器單元可在使用現(xiàn)場輕松更換
• 多氣體檢測：一臺設(shè)備通過更換傳感器單元可檢測多種氣體
• 免校準(zhǔn)設(shè)計：傳感器單元更換后無需校準(zhǔn)，節(jié)省維護(hù)時間和成本

• 超緊湊設(shè)計：在便攜式吸引式氣體檢測儀中實現(xiàn)世界小尺寸
• 輕量化：約1.3kg重量，便于攜帶和操作
• NF?檢測：作為便攜式NF?檢測儀，具有業(yè)界的緊湊性

• 漸進(jìn)式報警：報警音隨氣體濃度變化而變化，從緩慢斷續(xù)音逐漸加快到連續(xù)音
• 高濃度報警：高濃度時發(fā)出連續(xù)音報警
• 多重顯示：LCD閃爍、紅色報警燈閃爍等多重報警方式

• CE標(biāo)志：符合歐洲CE規(guī)格要求

技術(shù)規(guī)格詳解

主要應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體工廠中半導(dǎo)體材料氣體的泄漏檢測
• 化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝氣體監(jiān)測
• 刻蝕工藝氣體檢測
• 離子注入工藝氣體監(jiān)測

• NF?（三氟化氮）：主要用于CVD腔室清洗
• SiH?（硅烷）：用于硅膜沉積
• PH?（磷化氫）：用于摻雜
• AsH?（砷化氫）：用于摻雜
• B?H?：用于摻雜
• WF?（六氟化鎢）：用于鎢膜沉積