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日本new-cosmos半導(dǎo)體材料ppm級氣體探測器

日本new-cosmos半導(dǎo)體材料ppm級氣體探測器
XP-703DIII是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機(jī)株式會社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體探測器,專門用于檢測半導(dǎo)體制造過程中使用的各種高毒性氣體的微量泄漏。該設(shè)備采用熱線型半導(dǎo)體式檢測原理,具有高的檢測靈敏度,能夠檢測ppm級別的氣體泄漏。

  • 產(chǎn)品型號:XP-703DIII
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:138
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細(xì)介紹

日本new-cosmos半導(dǎo)體材料ppm級氣體探測器
日本new-cosmos半導(dǎo)體材料ppm級氣體探測器

XP-703DIII是日本新宇宙(NEW COSMOS)電機(jī)株式會社開發(fā)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體探測器,專門用于檢測半導(dǎo)體制造過程中使用的各種高毒性氣體的微量泄漏。該設(shè)備采用熱線型半導(dǎo)體式檢測原理,具有檢測靈敏度,能夠檢測ppm級別的氣體泄漏。

核心特點(diǎn)

超高靈敏度檢測
  • 微量泄漏檢測:可檢測10?? Pa·m3/s級別的微小泄漏
  • ppm級檢測:檢測下限達(dá)0.2-1.0ppm
  • 快速響應(yīng):10秒以內(nèi)響應(yīng)時(shí)間
  • 多種氣體:一臺設(shè)備可檢測多種半導(dǎo)體材料氣體
便攜設(shè)計(jì)
  • 超緊湊設(shè)計(jì):W38×H130×D32mm,手掌大小
  • 輕量化:僅190g(含電池和皮套)
  • 人體工學(xué):握持舒適,適合長時(shí)間使用
智能功能
  • 漸進(jìn)式報(bào)警:報(bào)警音隨氣體濃度變化,便于定位泄漏點(diǎn)
  • 雙重顯示:正面和底面都配有報(bào)警燈
  • 狀態(tài)顯示:LCD顯示電池電量和泵狀態(tài)
  • IP22防護(hù):皮套安裝時(shí)相當(dāng)于IP22防護(hù)等級

檢測性能規(guī)格

氣體類型檢測可能泄漏量檢測可能濃度主要用途
砷化氫(AsH?)2.53×10?? Pa·m3/s0.5 ppmn型摻雜劑
磷化氫(PH?)1.52×10?? Pa·m3/s0.3 ppmn型摻雜劑
(B?H?)1.01×10?? Pa·m3/s0.2 ppmp型摻雜劑
硅烷(SiH?)2.53×10?? Pa·m3/s0.5 ppm硅膜沉積
氫氣(H?)5.07×10?? Pa·m3/s1.0 ppm載氣/還原劑

技術(shù)規(guī)格詳解

項(xiàng)目規(guī)格
型號XP-703DIII
檢測對象氣體半導(dǎo)體材料氣體(砷化氫、磷化氫、硅烷、氫氣等)
采樣方式自動吸引式
檢測原理熱線型半導(dǎo)體式
響應(yīng)時(shí)間10秒以內(nèi)(對3倍檢測濃度的氣體,靈敏度設(shè)定[4])
顯示方式斷續(xù)音及報(bào)警燈閃爍
電源5號堿性電池2節(jié)
連續(xù)使用時(shí)間約12小時(shí)(常溫常濕條件下)
防護(hù)等級IP22相當(dāng)(皮套安裝時(shí))
工作溫濕度0℃~+40℃、85%RH以下(無結(jié)露)
尺寸W38×H130×D32mm(不含突起)
重量約190g(含電池和皮套)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造
  • 氣體輸送管道泄漏檢測
  • 氣體鋼瓶連接部位檢查
  • 氣體面板和閥門檢測
  • 工藝設(shè)備密封性驗(yàn)證
其他應(yīng)用
  • 實(shí)驗(yàn)室氣體設(shè)備檢查
  • 氣體儲存設(shè)施巡檢
  • 氣體運(yùn)輸設(shè)備檢測
  • 環(huán)保監(jiān)測


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