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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本active實(shí)驗(yàn)型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀

日本active實(shí)驗(yàn)型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后,通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力,使其均勻鋪展成薄膜的裝置。
高精度?高速旋轉(zhuǎn)(最高 12 000 rpm)
標(biāo)配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋,開蓋即停

  • 產(chǎn)品型號(hào):ACT-300AⅡ-HS
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-20
  • 訪  問  量:127
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細(xì)介紹

日本active實(shí)驗(yàn)型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
日本active實(shí)驗(yàn)型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后,通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力,使其均勻鋪展成薄膜的裝置。

可對(duì)應(yīng)圓形基板最大φ150 mm、方形基板最大□110 mm。
機(jī)型:スピンコーター ACT-300AⅡ-HS(對(duì)應(yīng) φ150 mm)
高精度?高轉(zhuǎn)速スピンコーター(スピンコート機(jī))
特征
  • 高精度?高速旋轉(zhuǎn)(最高 12 000 rpm)
  • 標(biāo)配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋,開蓋即停
  • 安全蓋設(shè)有滴液孔(帶滑動(dòng)蓋),旋轉(zhuǎn)中也可追加滴液
  • 多段程序:10 步 × 100 組配方,可存儲(chǔ)
  • 可對(duì)應(yīng)各種溶液的開發(fā)與評(píng)估
  • 可選配:Teflon涂層杯、自動(dòng)滴液、氮?dú)獯祾叩?/div>
用途
半導(dǎo)體、太陽能電池、移動(dòng)終端、光學(xué)鏡片、眼鏡鏡片、納米技術(shù)與生物、住宅建材、醫(yī)療、液晶等顯示器,以及需要獲得涂膜/薄膜的實(shí)驗(yàn)、研究、小批量生產(chǎn)。
基板尺寸
Φ5~Φ150mm(最大Φ6英寸、□110mm)對(duì)應(yīng)基板
杯內(nèi)徑
Φ300毫米
外形寸法(mm)
W400×D570×H410(安全罩關(guān)閉時(shí),帶調(diào)節(jié)器可水平調(diào)整)
※因規(guī)格不同,僅供參考
電源
1Φ 100V-10A (交流伺服電機(jī)400W) 50/60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0~12000轉(zhuǎn)/分鐘/±2轉(zhuǎn)/分鐘以下(負(fù)載時(shí))
最高轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間
12000轉(zhuǎn)/分鐘/2.5秒以下(根據(jù)負(fù)載可調(diào)整至最快速度)
基板吸著圧力
-70 ~ -80kPa
真空泵排氣量 12L/min以上
(裝置側(cè) 外徑Φ6管快速連接)


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