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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本active實驗型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀

日本active實驗型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后，通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，使其均勻鋪展成薄膜的裝置。
高精度?高速旋轉(zhuǎn)（最高 12 000 rpm）
標(biāo)配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋，開蓋即停

  • 產(chǎn)品型號：ACT-300AⅡ-HS
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-11-20
  • 訪  問  量：86
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詳細(xì)介紹

日本active實驗型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
日本active實驗型高速旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂覆儀
一種將涂布液滴在平整基板中央后，通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，使其均勻鋪展成薄膜的裝置。

可對應(yīng)圓形基板最大φ150 mm、方形基板最大□110 mm。
機(jī)型：スピンコーター ACT-300AⅡ-HS（對應(yīng) φ150 mm）
高精度?高轉(zhuǎn)速スピンコーター（スピンコート機(jī)）
特征
  • 高精度?高速旋轉(zhuǎn)（最高 12 000 rpm）
  • 標(biāo)配帶聯(lián)鎖傳感器的安全蓋，開蓋即停
  • 安全蓋設(shè)有滴液孔（帶滑動蓋），旋轉(zhuǎn)中也可追加滴液
  • 多段程序：10 步 × 100 組配方，可存儲
  • 可對應(yīng)各種溶液的開發(fā)與評估
  • 可選配：Teflon涂層杯、自動滴液、氮氣吹掃等
用途
半導(dǎo)體、太陽能電池、移動終端、光學(xué)鏡片、眼鏡鏡片、納米技術(shù)與生物、住宅建材、醫(yī)療、液晶等顯示器，以及需要獲得涂膜/薄膜的實驗、研究、小批量生產(chǎn)。
基板尺寸
Φ5～Φ150mm（最大Φ6英寸、□110mm）對應(yīng)基板
杯內(nèi)徑
Φ300毫米
外形寸法（mm）
W400×D570×H410（安全罩關(guān)閉時，帶調(diào)節(jié)器可水平調(diào)整）
※因規(guī)格不同，僅供參考
電源
1Φ　100V－10A （交流伺服電機(jī)400W） 50／60Hz
回転制御速度 / 回転精度
0～12000轉(zhuǎn)/分鐘/±2轉(zhuǎn)/分鐘以下（負(fù)載時）
最高轉(zhuǎn)速的加速時間
12000轉(zhuǎn)/分鐘/2.5秒以下（根據(jù)負(fù)載可調(diào)整至最快速度）
基板吸著圧力
-70 ～ -80kPa
真空泵排氣量 12L/min以上
（裝置側(cè) 外徑Φ6管快速連接）


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