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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本toa-esm半導體制造等離子清潔器

日本toa-esm半導體制造等離子清潔器
常壓?低溫?高速:傳統(tǒng)真空工藝無法實現(xiàn)的新表面處理
常壓下成膜:無需真空腔,在線連續(xù)處理成為可能
低溫工藝:樹脂、薄膜等熱敏基材也可直接成膜
高速聚合:數(shù)秒~數(shù)十秒即可完成納米級薄膜沉積

  • 產(chǎn)品型號:CP-Plasner
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2025-11-29
  • 訪  問  量:70
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詳細介紹

日本toa-esm半導體制造等離子清潔器
日本toa-esm半導體制造等離子清潔器

等離子體聚合裝置 CP-Plasner
常壓?低溫?高速:傳統(tǒng)真空工藝無法實現(xiàn)的新表面處理
  • 常壓下成膜:無需真空腔,在線連續(xù)處理成為可能
  • 低溫工藝:樹脂、薄膜等熱敏基材也可直接成膜
  • 高速聚合:數(shù)秒~數(shù)十秒即可完成納米級薄膜沉積
  • 綠色環(huán)保:干式工藝,無溶劑排放
可沉積單體(示例)
HMDSO、TEOS、TMS、丙烯酸、硅氧烷、氟系單體等
→ 可形成 SiO?、SiC、類聚丙烯酸、氟碳等納米涂層
主要應用方向
① 阻氣/阻水膜(OLED、封裝、光伏背板等)
② 保護膜(電子元件、光學膜、醫(yī)療器械)
③ 功能化(提高附著力、控制親疏水、生物相容性等)
裝置規(guī)格(CP-Plasner 系列)
  • 處理幅:50 mm~500 mm(可按需求定制)
  • 線速:0.1~10 m/min(取決于目標膜厚)
  • 等離子體功率:1~10 kW(RF/微波可選)
  • 單體供給:微流量精密注入系統(tǒng),可脈沖或連續(xù)
  • 控制:觸屏+PLC,配方管理、數(shù)據(jù)記錄、遠程接口完備
工藝支持
  • 提供工藝數(shù)據(jù)庫與初步打樣
  • 支持客戶自帶單體進行驗證
  • 可升級為卷對卷(Roll-to-Roll)或批量式設備

氣體導入流量調(diào)節(jié)管道與等離子體點火方法

  • 無論清潔時間長短,真空容器內(nèi)的壓力都不會發(fā)生變動。

  • 清洗流程的壓力將根據(jù)設備規(guī)格進行優(yōu)化,并在事先協(xié)商的基礎(chǔ)上確定。

穩(wěn)定等離子體生成

  • 由于壓力不變,可產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體。

  • RF反射量穩(wěn)定,實現(xiàn)均勻的清潔效果。

一鍵操作

  • 只要設定清洗條件(RF輸出、清洗時間),即可一鍵完成處理。

  • 搭載操作簡便的觸控面板,便于菜譜登記和使用情況管理。

  • RF的開關(guān)可通過專用開關(guān)輕松操作。


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