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日本tecnostrap半導體制造HOT N? 加熱器

日本tecnostrap半導體制造HOT N? 加熱器
半導體與液晶制造設備的排氣管道常被大量粉末污染,存在堵塞風險。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮氣,低成本即可預防并解決上述問題。
同時還可縮短低溫泵再生時間,并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。

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  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-11-29
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日本tecnostrap半導體制造HOT N? 加熱器
日本tecnostrap半導體制造HOT N? 加熱器

HOT N? 加熱器——讓真空排氣管道時刻保持清潔的新工具
半導體與液晶制造設備的排氣管道常被大量粉末污染,存在堵塞風險。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮氣,低成本即可預防并解決上述問題。
同時還可縮短低溫泵再生時間,并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。
與傳統(tǒng)技術的對比
以往僅在管道外側包覆保溫層,內壁仍可能局部過冷;形狀復雜處保溫不足,粉末會附著、生長并最終堵塞。
HOT N? 加熱器則將加熱后的 N? 直接通入管道內部,使整管均勻升溫,不受管路形狀限制,全面抑制粉末析出,防止堵塞。
安裝方法
安裝在真空泵出口或排氣管路的任意位置。若已有稀釋 N? 入口,直接接入即可,無需額外改造。
HOT N? 加熱器——讓真空排氣管道時刻保持清潔的新工具
半導體與液晶制造設備的排氣管道常被大量粉末污染,存在堵塞風險。
HOT N? 加熱器利用現(xiàn)有稀釋氮氣,低成本即可預防并解決上述問題。
同時還可縮短低溫泵再生時間,并可用于加載鎖腔體的潔凈吹掃。
與傳統(tǒng)技術的對比
以往僅在管道外側包覆保溫層,內壁仍可能局部過冷;形狀復雜處保溫不足,粉末會附著、生長并最終堵塞。
HOT N? 加熱器則將加熱后的 N? 直接通入管道內部,使整管均勻升溫,不受管路形狀限制,全面抑制粉末析出,防止堵塞。
安裝方法
安裝在真空泵出口或排氣管路的任意位置。若已有稀釋 N? 入口,直接接入即可,無需額外改造。


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