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晶圓曲翹零件磨損測量非接觸式性狀測定儀

晶圓曲翹零件磨損測量非接觸式性狀測定儀
PF-60 把“白光干涉的精度"與“觸針式的速度"合二為一,非接觸,是桌面級翹曲、磨損與微形狀測量的高速解決方案。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PF-60
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-12-13
  • 訪  問  量:86
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詳細(xì)介紹

晶圓曲翹零件磨損測量非接觸式性狀測定儀
晶圓曲翹零件磨損測量非接觸式性狀測定儀

Scan-AF 功能實(shí)現(xiàn)“大范圍 + 高速"測量!
憑借 Scan-AF(掃描自動(dòng)對焦)與高精度自動(dòng) XY 平臺(tái),測量速度達(dá)到傳統(tǒng) index 方式的 50 倍,可在數(shù)十毫米視野內(nèi)獲得亞微米級精度,輕松完成:
  • 傳統(tǒng)輪廓儀測不到的精密零件翹曲
  • 注塑件整體形狀缺陷
  • 摩擦學(xué)磨損量與劃痕定量評估
核心規(guī)格
  • 測量范圍:XYZ 60 mm × 60 mm × 10 mm
  • 分辨率:XY 0.1 µm,Z 0.01 µm
  • 掃描速度:比點(diǎn)式 AF 提高 50 倍
  • 粗糙度算法:符合 ISO 25178/4287,標(biāo)配 MitakaMap 軟件
  • 主機(jī)尺寸:400 mm × 400 mm 桌面型,重量 31 kg
擅長測量案例
  1. HDD 懸架——輕觸即變形的翹曲/扭曲
  2. IC 圖形——大面積微細(xì)線路三維形貌
  3. 指紋——柔軟樣品非接觸高精度成像
  4. 頭發(fā)絲——捕捉微米級直徑變化
  5. 金剛石磨?!锌趫A弧、突起高度
  6. 車刀刀片——3D 顯示、刃口粗糙度、斷面尺寸
  7. 晶圓翹曲——整片弓形、波紋一次掃描
  8. 磨削振紋——面區(qū)域粗糙度自動(dòng)計(jì)算
  9. 剎車片磨損——分割邊緣/接觸面/磨損面并輸出載荷曲線
PF-60 把“白光干涉的精度"與“觸針式的速度"合二為一,非接觸,是桌面級翹曲、磨損與微形狀測量的高速解決方案。


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