日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源 電壓可調(diào)

日本P.R.A.靜電卡盤ESC高壓電源 電壓可調(diào)

2. ESC 是什么？半導(dǎo)體硅片或 LCD 玻璃基板在真空腔室內(nèi)必須被“無夾持"固定。傳統(tǒng)機械爪易劃傷、局部應(yīng)力大；真空吸盤又無法在真空中工作。于是利用靜電力：在陶瓷盤內(nèi)部埋設(shè)一對電極，通高壓后形成“庫侖吸盤"，即靜電卡盤（ESC）。該方法已廣泛用于 PVD、CVD、ETCH 等制程。

1. 電氣規(guī)格（可定制）

• 輸出電壓：±1 kV ～ ±5 kV（連續(xù)可調(diào)）
• 輸出電流：1 ～ 10 mA
• 極性：單極 / 雙極 可選
• 中心抽頭（Bias）：Floating / FG / Bias 三種接法
• 遠程接口：數(shù)字 I/O、RS-232C（可擴展 LAN、USB）
• 環(huán)保：符合 RoHS

2. 核心優(yōu)勢

• 原位替換：保持原安裝孔位與接口，直接替換現(xiàn)有進口電源
• 多重保護：過流限制、極性反接、電弧放電抑制，提升工藝良率
• 接口齊全：單口型、J-R 型、多通道陣列等 ESC 規(guī)格全對應(yīng)

電極附近出現(xiàn)反極性電荷，陶瓷表面則感應(yīng)出同極性電荷。當硅片靠近時，片內(nèi)誘導(dǎo)電荷與表面電荷相互吸引，產(chǎn)生吸附力。吸力大小與表面電荷量成正比，而電荷量由高壓電源精確控制。