韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體蒸汽顆粒雜質(zhì)去除過(guò)濾器
韓國(guó)PlayTG半導(dǎo)體蒸汽顆粒雜質(zhì)去除過(guò)濾器

主要特點(diǎn)

1. 高效過(guò)濾性能

• 采用PTFE膜濾芯，具有優(yōu)異的化學(xué)兼容性
• 可去除0.003μm以上的超微細(xì)顆粒
• 過(guò)濾效率高達(dá)99.9999999%（9-log reduction）

2. 優(yōu)異的耐腐蝕性

• 主體材質(zhì)采用PFA（全氟烷氧基樹(shù)脂）
• 可耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和有機(jī)溶劑
• 適用于各種腐蝕性工藝環(huán)境

3. 高溫高壓耐受性

• 工作溫度：200°C
• 工作壓力：7 bar (100 psig)
• 可適應(yīng)嚴(yán)苛的工藝條件

4. 低析出設(shè)計(jì)

• 超低顆粒析出和金屬離子析出
• 確保工藝純度和產(chǎn)品質(zhì)量
• 符合半導(dǎo)體級(jí)純度要求

技術(shù)規(guī)格

接口規(guī)格

• 入口/出口連接：3/4"或1"法蘭連接
• 排水口：1/4"接口
• 可選NPT或VCR螺紋連接

流量范圍

• 3/4"接口：流量50 slpm
• 1"接口：流量100 slpm

濾芯規(guī)格

• 過(guò)濾面積：約1,200 cm2
• 濾芯長(zhǎng)度：10英寸標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度
• 可選雙層結(jié)構(gòu)增強(qiáng)過(guò)濾效果

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造工藝
• 顯示面板制造
• 太陽(yáng)能光伏制造
• 高純度化學(xué)品處理
• 實(shí)驗(yàn)室高純系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)：濾芯使用壽命長(zhǎng)，降低維護(hù)成本
• 易更換結(jié)構(gòu)：濾芯更換簡(jiǎn)單，減少停機(jī)時(shí)間
• 多種規(guī)格：提供多種接口尺寸和材質(zhì)選擇
• 質(zhì)量保證：通過(guò)ISO 9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證