日本shinnetsu半導體液晶成膜工藝用加熱器
日本shinnetsu半導體液晶成膜工藝用加熱器

主要特點

1. 多樣化加熱器選擇

• 可根據板材材質、加工方法、溫度、容量等參數選擇適合的原創(chuàng)加熱器
• 可選加熱器類型包括：
• 護套加熱器（シーズヒーター）
• 細徑護套加熱器（細徑シーズヒーター）
• 筒式加熱器（カートリッジヒーター）等

2. 電氣安全性能

• 各種加熱器都進行了電氣絕緣處理
• 可直接進行加熱操作

3. 耐用性和可靠性

• 優(yōu)異的抗振動、抗沖擊性能
• 發(fā)熱線不易氧化，使用壽命長
• 通過表面處理技術，具有優(yōu)異的氣體耐腐蝕性

主要應用領域

• 半導體設備：各種成膜裝置用加熱器
• 液晶設備：各種成膜裝置用加熱器
• 工藝熱源：各種工藝過程的熱源用加熱器

這類產品主要應用于半導體制造設備中的各種加熱工藝，如CVD、PVD等成膜工藝，以及液晶面板制造過程中的熱處理工藝。

半導體?液晶用ヒーターの特徴

• プレート材質、加工方法、溫度、容量などにより當社オリジナルヒーターを選定することが可能。
  (シーズヒーター、細徑シーズヒーター、カートリッジヒーター等）

• 各種ヒーターは電気的に絶縁されており、直接加熱が可能。

• 各種ヒーターは振動、衝撃に優(yōu)れ、発が酸化されにくいために長壽命です。

• 表面処理を行うことでガスによる耐腐食性に優(yōu)れています。

半導體?液晶用ヒーターの用途

• 半導體裝置各種成膜裝置用ヒーター

• 液晶裝置各種成膜裝置用ヒーター

• 各種プロセス熱源用ヒーター