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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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晶圓納米級(jí)金屬污染物半自動(dòng)微量回收裝置用于 硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓 表面/側(cè)面 納米級(jí)金屬污染物 的 半自動(dòng)微量回收
產(chǎn)品型號(hào)：SC-9200廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-12-31訪 問 量：51
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晶圓納米級(jí)金屬污染物半自動(dòng)微量回收裝置
晶圓納米級(jí)金屬污染物半自動(dòng)微量回收裝置
| 功能 | 說明 |
|---|---|
| 自動(dòng)保持具清洗 | 回收液槽與吸頭每次循環(huán)自動(dòng)沖洗，消除交叉污染 |
| 上吸式液回收 | 通過負(fù)壓將取樣液 精確吸回，殘留量 < 1 µL |
| 多種取樣圖形 | 標(biāo)配：環(huán)狀、扇形、固定半徑、弧段；可選：側(cè)面（倒角）、矩形、弓形 |
| 全自動(dòng)流程 | ①裝夾 → ②供液 → ③取樣 → ④回收 → ⑤清洗，一鍵完成 |
| 高潔凈設(shè)計(jì) | 整機(jī)可置于 潔凈臺(tái)（Clean Draft） 內(nèi)使用；與晶圓接觸部分 PFA/PTFE 材質(zhì) |
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 適用晶圓 | 2–8 inch（可兼容缺口/平邊） |
| 取樣面積 | 最小 Φ 1 mm 環(huán)帶， 全表面 |
| 回收液體積 | 50–500 µL（可調(diào)，閉環(huán)體積校準(zhǔn)） |
| 取樣時(shí)間 | 典型 30 s/片（含清洗） |
| 電源 | AC 100–240 V 50/60 Hz 200 W |
| 公用介質(zhì) | 純水（DIW）、氮?dú)猓∟?）、潔凈空氣（CDA） |
| 外形/重量 | 690 × 550 × 790 mm / 55 kg |
| 控制方式 | 外接 PC（Windows），圖形界面；可導(dǎo)出 CSV/Excel |
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002
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