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日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵

日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵
小型干式真空泵的規(guī)格表,定位為“節(jié)能 + 空冷 + 免維護(hù)"的潔凈干泵,適用于負(fù)載鎖定室(Load Lock)、傳送室(Transfer Chamber)、分析儀器等中低真空?qǐng)龊?/p>

  • 產(chǎn)品型號(hào):SDE90X/SDE120TX
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2026-01-07
  • 訪  問  量:60
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詳細(xì)介紹

日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵

日本kashiyama潔凈室小型空冷干式真空泵

小型干式真空泵的規(guī)格表,定位為“節(jié)能 + 空冷 + 免維護(hù)"的潔凈干泵,適用于負(fù)載鎖定室(Load Lock)、傳送室(Transfer Chamber)、分析儀器等中低真空?qǐng)龊稀?/span>

 系列劃分

  • SDE90/120/200 — 基礎(chǔ)型(X 后綴)
  • SDE303/603/1203 — 高抽速型,分 X(節(jié)能)與 TX(高耐工藝)兩種版本
    ※ 數(shù)字 ≈ 抽速 ÷ 10(例:SDE1203 ≈ 20 000 L/min)

2. 性能速覽

機(jī)型抽速極限壓力額定功耗外形 L×W×H
SDE90X1 300 L/min1.3 Pa1.3 kW690×370×501 mm
SDE120TX1 500 L/min0.5 Pa2.8 kW同上
SDE2003 300 L/min1.3 Pa2.7 kW930×400×500 mm
SDE303X5 000 L/min1.3 Pa1.5 kW760×400×905 mm
SDE303TX5 000 L/min0.5 Pa3.0 kW同上
SDE603X/TX10 000 L/min1.3/0.5 Pa1.6/3.1 kW900×400×905 mm
SDE1203X/TX20 000 L/min1.3/0.5 Pa2.0/3.2 kW同上
注:極限壓力為無加熱、無 N? 吹掃條件下的典型值。

3. 共同技術(shù)亮點(diǎn)

  • 空冷式 — 無需外接冷卻水,潔凈區(qū)部署更簡單
  • 垂直螺桿 + 無接觸 — 零油反流,低顆粒、低振動(dòng)
  • 節(jié)能設(shè)計(jì) — X 型功耗比同級(jí)油泵下降 30 % 以上
  • 內(nèi)置溫控 & CMS 端口 — 可遠(yuǎn)程監(jiān)控溫度、電流、狀態(tài)
  • 免維護(hù)周期長 — 僅抽潔凈氣體時(shí)推薦 2 年一次保養(yǎng)

4. 典型用途

  • 半導(dǎo)體 Load Lock / Transfer / Metrology Chamber
  • FPD、LED、PV 產(chǎn)線的搬運(yùn)室、緩沖室
  • 分析儀器(SEM、XPS、AES)前級(jí)泵
  • 可與 SD/SM 系列組合,作為前級(jí)干泵使用


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