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日本mikasa潔凈室用伺服型臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

日本mikasa潔凈室用伺服型臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
日本 Mikasa MS-B150 是一款面向?qū)嶒?yàn)室與半導(dǎo)體制程開發(fā)的高性能臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)（Spin Coater）

  • 產(chǎn)品型號：MS-B150/MS-B200
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2026-01-05
  • 訪  問  量：58
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日本mikasa潔凈室用伺服型臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

日本mikasa潔凈室用伺服型臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

日本 Mikasa MS-B150 是一款面向?qū)嶒?yàn)室與半導(dǎo)體制程開發(fā)的高性能臺式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)（Spin Coater），核心規(guī)格與特點(diǎn)如下：
  1. 基板能力
    • 支持 φ6 英寸晶圓或 100 mm × 100 mm 方片
    • 旋轉(zhuǎn)腔體內(nèi)徑 φ290 mm，適合高校/研究所常規(guī)樣品
  2. 轉(zhuǎn)速與精度
    • 20–7 000 rpm 無級設(shè)定，顯示/控制精度 ±1 rpm（帶載仍保持）
    • 可獨(dú)立設(shè)定“加速時間"與“勻速保持時間"，用于精確控制膜厚
  3. 電機(jī)與控制
    • 無刷 AC 伺服電機(jī)——低發(fā)熱、無粉塵，可連續(xù)運(yùn)行而不影響潔凈室環(huán)境
    • 100 段 × 10 組程序，每段時間最長 999.9 s，可編多步曲線并實(shí)現(xiàn)自動重復(fù)實(shí)驗(yàn)
  4. 真空吸附
    • 數(shù)字式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配置，吸附壓力 -0.08 ~ -0.1 MPa
    • 帶真空聯(lián)鎖：真空不足或蓋子未閉合時禁止旋轉(zhuǎn)，防止飛片
  5. 滴膠擴(kuò)展
    • 可選 1 臂或 2 臂氣動滴膠裝置（MS-A150 系列），實(shí)現(xiàn)光刻膠自動定量滴涂
  6. 成膜性能
    • 6 英寸硅片 + 光刻膠 OFPR-800LB，目標(biāo)膜厚 1 µm 時，面內(nèi)厚度分布 ≤ ±0.6 %
  7. 機(jī)身規(guī)格
    • 臺式 352 mm × 303 mm × 432 mm，重 16 kg
    • 電源 AC 100–240 V，50/60 Hz，5 A，單相即插即用


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