半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置
主要用于半導(dǎo)體和液晶制造行業(yè)中的藥液脫氣處理
采用四氟乙烯樹(shù)脂（PTFE）制成的非多孔中空纖維膜
具有優(yōu)異的耐藥性、耐溶劑性和耐熱性
非多孔結(jié)構(gòu)確保藥液不會(huì)泄漏到真空側(cè)

產(chǎn)品型號(hào)：PF-03F/PF-06F
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2026-01-05
訪問(wèn) 量：64

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詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

Teflon脫氣膜（テフロン脫気膜）應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于半導(dǎo)體和液晶制造行業(yè)中的藥液脫氣處理

產(chǎn)品特點(diǎn)

材料優(yōu)勢(shì)：

采用四氟乙烯樹(shù)脂（PTFE）制成的非多孔中空纖維膜
具有優(yōu)異的耐藥性、耐溶劑性和耐熱性
非多孔結(jié)構(gòu)確保藥液不會(huì)泄漏到真空側(cè)

設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)：

通過(guò)增加非多孔中空纖維膜的數(shù)量來(lái)增大膜面積，實(shí)現(xiàn)緊湊設(shè)計(jì)
采用不易折斷的非多孔中空纖維膜，耐久性優(yōu)異

主要用途

半導(dǎo)體制造：顯影液、光刻膠、沖洗液、蝕刻液、電鍍液、超純水等的脫氣
液晶制造：各種工藝藥液的脫氣處理
精密涂布：精密涂布液、打印機(jī)用墨水等的脫氣
測(cè)量設(shè)備：去除液中粒子計(jì)數(shù)器試料液的脫氣

技術(shù)背景

隨著半導(dǎo)體器件的微細(xì)化和LCD基板的大型化，對(duì)藥液中微氣泡去除的需求日益增長(zhǎng)。該產(chǎn)品能夠：

去除導(dǎo)致器件缺陷的微氣泡
提高處理能力，支持300mm晶圓
實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化和配管簡(jiǎn)化

脫氣原理

通過(guò)PTFE管狀氣體透過(guò)膜，利用管內(nèi)外氣體分壓差，將藥液中溶解的氣體去除。具體過(guò)程是將管外抽真空，產(chǎn)生分壓差，從而去除管內(nèi)藥液中的溶解氣體。

這是一款專為高精度電子制造工藝設(shè)計(jì)的專業(yè)脫氣設(shè)備，在半導(dǎo)體制程中起著關(guān)鍵作用。

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半導(dǎo)體LCD制造藥液高效脫泡PTFE脫氣膜裝置

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