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日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級(jí)計(jì)量設(shè)備10μm～100μm粗大粒子（分級(jí)計(jì)量），收集落下并附著于晶片上的粉塵，進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)：DTSP10-03廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2026-02-28訪 問 量：36
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日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級(jí)計(jì)量設(shè)備
日本NCC晶圓晶片附著粉塵分級(jí)計(jì)量設(shè)備
| 項(xiàng)目 | 說明 |
|---|---|
| 測(cè)量對(duì)象 | 落下的附著粉塵（非浮游粉塵） |
| 粒徑范圍 | 10μm～100μm粗大粒子（分級(jí)計(jì)量） |
| 采樣方式 | 使用樣品收集板（4英寸硅晶片） |
| 測(cè)量原理 | 收集落下并附著于晶片上的粉塵，進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù) |
| 數(shù)據(jù)輸出 | 測(cè)定結(jié)果可在電腦上顯示并保存 |
| 安裝要求 | 必須安裝在100級(jí)左右的無塵環(huán)境中 |
| 痛點(diǎn) | 解決方案 |
|---|---|
| 用粘性膠帶采樣+顯微鏡觀察計(jì)數(shù)，效率低下費(fèi)時(shí) | 自動(dòng)分級(jí)計(jì)數(shù)，高效快速 |
| 想調(diào)查裝置內(nèi)附著的塵埃，但找不到好的測(cè)定方法 | 晶片采樣，可放入設(shè)備內(nèi)部 |
| 想調(diào)查高溫爐內(nèi)、運(yùn)行中傳送帶等附著的灰塵 | 使用2英寸晶片（直徑50mm）可進(jìn)入狹小空間 |
| 參數(shù) | DTSP10-02 | DTSP10-03 | DTSP10-03（2英寸版） |
|---|---|---|---|
| 最小可測(cè)粒徑 | 10μm | 10μm | 10μm |
| 粒徑區(qū)分 | 10μm、30μm、50μm、100μm | 10μm、30μm、50μm、100μm + 11～99μm范圍內(nèi)可設(shè)定數(shù)值 | （同左） |
| 晶片尺寸 | 4英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 最大測(cè)試范圍 | Ф80mm | Ф80mm | Ф30mm |
| Trimming功能 | 有 | 有 | 無 |
| 切換顯示 | 無 | 有（可區(qū)分表示） | （同左） |
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